湖北省经济和信息化厅

联仕新材料湿电子化学品生产装置

荆州经开区内湖北先导电子信息产业园正在加紧施工

太和气体公司电子特气检测实验室

文/图 湖北日报全媒记者 王丙全 通讯员 周栎 彭丹 黄思明

惊蛰时节，万物复苏，位于荆州经开区的湖北先导电子信息产业园内，35栋单体建筑拔节生长，900多名工人施工正酣，为6月份投产拼抢工期。

该产业园总投资200亿元，由全球稀散金属行业“领头羊”先导科技集团投资，2023年落户经开区，成为荆州市招商引资规模最大的半导体材料项目。

近几年，包括先导在内，联仕新材料、拓材科技、瑞华科技等优质半导体材料项目接连在荆州布局，菲利华、太和气体、汇达科技等本土老企业也在半导体领域创新突围，推动荆州半导体产业在电子气体、湿电子化学品、光引发剂前驱体、光掩膜基板、高纯半导体金属材料等环节快速崛起，形成一股新动能。

论半导体产业基础，荆州并没有优势，这些项目为何齐聚荆州？荆州半导体产业如何后发赶超？连日来，湖北日报全媒记者走访荆州半导体材料企业一探究竟。

看好荆州产业区位优势 半导体头部企业纷纷抢滩

先导科技集团是一家专业从事稀散金属及其高端材料研发生产的高新技术企业，产品广泛应用于半导体、微电子、光通讯等领域。

2022年，先导科技集团有意扩建产线。得到消息，荆州市、经开区两级招商团队6次前往广东拜访，5次将企业负责人请来实地考察，围绕企业需求主动作为，展现出最大诚意和专业素养，成功在2023年1月签下项目。

先导落子荆州，计划建设集成电路关键材料、稀散金属回收加工、新一代半导体材料、太阳能电池及创新研究院等项目，一期投资65亿元。项目建成后，将在荆州电子信息、精细化工和新材料产业之间架起联动桥梁，带动更多上下游产业项目落户。

去年9月，年产1000吨高纯半导体材料的拓材科技正式开工，计划在荆州建成国内最大、种类最多的高纯半导体材料产业基地和国家级高纯材料工程研发技术中心。

今年1月，半导体产业链上明星企业——安德科铭半导体科技有限公司落户荆州，投资10亿元建设高纯半导体薄膜前驱体生产基地。

近年来，国内半导体产业快速发展，头部企业纷纷跑马圈地，成为各地党委政府争抢的“香饽饽”。荆州何以在众多竞争者中脱颖而出？

“布局荆州不仅是集团的战略需要，也是被荆州扎实的产业基础、优良的资源禀赋吸引。”先导科技集团董事长朱世会在参加全省重大项目集中开工活动时说，荆州在煤化工、硅化工、磷化工和盐化工方面实力雄厚，形成了丰富的化工原料优势。

联仕新材料（苏州）股份有限公司办公室主任蔡三全则表示，公司投资15亿元在荆州建设湿电子化学品项目，看中的是荆州区位优势。他说，荆州位于长三角、珠三角、京津冀、中西部电子信息产业“十字中心”，可以更好地向重庆、成都、合肥等半导体及光电产业制造中心城市辐射，省内则可以对接武汉光电子信息产业，相比苏州可节省不少物流成本。

据统计，2021至2023年，经开区签下近20个半导体项目，成为荆州半导体项目的主要聚集地。该区产业招商研究院负责人认为，经开区拥有国家一类口岸荆州盐卡港、全省第二家危险化学品运输码头和通达的铁水联运体系等等，是项目青睐的重要原因。

靠科技创新后发赶超 接连攻克半导体产业“卡脖子”技术

老厂区占地39亩，加上即将投产的新厂区，也不过120余亩。这里是太和气体（荆州）有限公司，面积不大，在电子特气行业却无人不知。

电子特气被称为电子工业的“血液”，是生产半导体芯片不可或缺的关键材料，光刻、刻蚀、沉积、掺杂等，几乎每个工艺环节都离不开它。

过去，我国电子特气严重依赖进口，国产化率低，如何破局?

自2010年成立以来，太和气体专注于高纯半导体特气领域，在国内率先自主研发生产高纯氯、氯化氢、乙硼烷、溴化氢等拳头产品，生产工艺技术和品质均达到国际先进水平，多项产品填补国内空白。

“2018年以前，公司一直处于研发阶段，投入较大，销售规模相对较小。”太和气体公司董秘刘德军介绍，2019年以来，公司的年销售额持续增长。

2023年，受全球电子消费品市场需求下降等不利因素影响，国内电子特气市场需求下降约20%，太和气体销售依然保持了可喜增长势头。新厂区计划在今年底建成，新厂全部达产后，公司高纯电子特气将达到20多个品种。

15年深耕电子特气，太和气体已拥有25项电子特气核心技术专利，入选国家级专精特新“小巨人”企业，成为国内高纯氯、氯化氢和乙硼烷电子特气品种名列前茅的制造商，产品进入台积电、三星电子、京东方、中芯国际等国际知名半导体供应链。

高纯度、耐高温、无污染的石英玻璃材料及制品，也是半导体生产中必不可少的辅材。湖北菲利华石英玻璃股份有限公司数十年如一日，专注研制石英玻璃产品，不断攻克技术瓶颈，成为国内首家正式通过国际三大半导体原产设备商认证的石英材料企业。

目前，菲利华主要生产薄膜晶体管液晶显示器中印刷线路板的光掩膜基板，以及半导体芯片制程中的石英蚀刻材料。去年，该公司成功研发出超低膨胀石英玻璃材料，打破国外垄断，实现了国内该材料领域零的突破。

随着先导、联仕、瑞华等半导体项目在荆州加速落地、投产，在半导体材料领域汇聚多项尖端技术，成为荆州半导体产业崛起的重要支撑。

政府重点培育扶持 半导体产业集群效应初步显现

湖北石创半导体科技有限公司机加工车间内，一个个石英筒经过切割、打磨等工序，被制作成精致的石英环。

“这些都是高纯度石英制造，是半导体生产设备的耗材，远销印度、日本、韩国等国家和地区。”公司行政总监杨珊介绍，去年销售收入达到3.6亿元，预计今年可达7亿元，3年内有望突破15亿元。

从落地到投产，荆州市、经开区对湖北石创倍加呵护，经信、统计、税务、市场监管等职能部门多次上门辅导、解决难题。2022年底一期投产后，该公司仅一个季度便入列规模以上工业企业，随即又入选省级第三批创新型中小企业、“两化”融合企业。

去年7月正式投产的联仕（湖北）新材料电子化学品产业园，一期各条生产线忙个不停，二期项目主体已经完工，正在安装设备，计划在7月份开始试生产。今年1月，该公司完成产值1890万元，全年预计突破2亿元。

“项目快速落地、投产，离不开荆州市、经开区的扶持。”曾三全回忆，公司刚落地时，厂区周边没有路灯，夜间黑灯瞎火，向企业秘书反映后，问题很快解决。后来公司生产需要蒸汽，经过当地多个职能部门协调，公司管道顺利穿过两家工厂，接入到热电厂管道。

半导体产业是荆州重点培育和发展的战略新兴产业之一，荆州市委市政府在要素保障、基金合作、助企解难等方面给予大力支持。

荆州新型工业化实施方案明确，加快发展战略性新兴产业，全力支持先导稀材、太和气体、联仕化学、拓材科技、瑞华科技等企业创新发展，建设荆州半导体材料产业基地。经开区作为荆州半导体产业项目聚集地，提出打造“盐卤元素—化工原料—精细化学品—高纯电子化学品”高附加值产业链；推动资源循环利用，打造“氯气等工业气体—电子特种气体”绿色循环产业链。

目前，荆州已经形成了以菲利华为代表的光掩模基板产业，以太和气体为代表的电子特气产业，以联仕新材料为代表的湿电子化学品产业，以先导稀材、拓材科技为代表的高纯半导体金属材料产业，以湖北瑞华为代表的半导体金刚石产业等细分领域，产业集群效应初步显现。