湖北省经济和信息化厅

近日，君原电子与东湖高新区签约，将在光谷建设半导体静电吸盘项目。

静电吸盘作为晶圆生产设备的核心部件之一，是利用静电吸附、搬运晶圆的陶瓷托盘，如同芯片制造的“隐形手”，用在刻蚀机、光刻机、镀膜设备上，能固定晶圆，确保其纹丝不动。由于陶瓷材料和精密电极的制造难度高，半导体静电吸盘生产技术是国内企业在推进芯片制造国产化中需要攻克的重要技术之一。

君原电子成立于2020年，具备半导体静电吸盘（ESC）从研发到量产的全流程能力，其产品覆盖14纳米及以上制程的主要刻蚀机台应用，已通过国内12寸晶圆厂验证。

此次签约项目落户光谷筑芯科技产业园，将建设静电吸盘产线，就近为光谷集成电路企业提供静电吸盘生产与维修服务。

君原电子总经理王继增表示，项目落户光谷，将进一步拉近与光谷集成电路企业的距离，降低物流成本，提高产品应用效率。未来公司将与当地产业链上下游企业协同合作，不断突破半导体静电吸盘技术，力争成为全球技术领先的集成电路核心零部件供应商。

东湖高新区负责人表示，将营造更好营商环境，聚集更多集成电路产业链企业专心、安心在光谷发展，推动光谷建设“世界存储之都”“全球化合物半导体产业创新中心”。